65-0279-28 マルチイオンゲージ アナログ出力仕様 M-44（NW-16）付き SH200-A
[ULVAC, Inc.] Multi-Ion Gauge Analog Output Specification M-44 (NW-16) Included
特徴
- 異なる測定範囲の測定子が接続可能なトランスデューサ型真空計『G-TRANシリーズ マルチイオンゲージ』シリーズです。
- B-A型電離真空計である本製品は、超高真空の測定が可能です。
- 従来の、広範囲の圧力測定、低ランニングコストのコンセプトを引き継ぎながら、よりユーザーフレンドリーな改良を行いました。
- 異なる測定範囲の測定子が接続可能：マルチイオンゲージの採用により用途に応じた測定子の選択が可能
- コンパクト：従来品より大幅な小型化を達成（コントローラ容積56％削減）
- ユーザビリティ向上：PC/スマホ接続によりセットポイント設定、状態確認等が可能
- フィラメント寿命お知らせ機能：フィラメントの電力監視により、フィラメント寿命を事前に通知可能
- 広範囲の圧力測定：大気圧から高真空領域（1×10+5～5×10-8Pa）の測定が可能（オプションユニットSWU10-R接続時）
- 正確な大気圧測定：チャンバーオープンのための大気圧確認が可能（オプションユニットSAU接続時）
仕様
- 仕様：標準仕様
- 接続可能センサ：マルチイオンゲージセンサ/1本、ピラニゲージSWU10-R/1本（オプション）、大気圧センサSAU/1本（オプション）
- 繰返精度（N2）：SH200単体モード/±2％
- サンプリング時間：60ms 5回の移動平均処理
- 測定値出力
- 出力電圧：DC0～10V LOG出力 0.75V/1桁
- 圧力換算式：V=7.25+0.75×（LogP-2）P=10^{（V-7.25）/0.75+2}
- 更新時間：60msec
- 制御入力信号：FIL ON/OFF、FIL 1/2、DEGAS ON/OFF、オープンコレクタ入力で動作、負論理 ※FIL ON/OFF信号はモードにより使用方法が異なる
- 制御出力信号：センサエラー、セットポイント1/2/3、エミッションバリッド、フィラメント電力監視、定格・24VMAX、50mAMAX、飽和電圧1V
- LED表示
- POWER/ERROR：パワー、エラーLED（各モードにより点滅状態が変化）
- SET1：セットポイント1LED
- SET2：セットポイント2LED
- SET3：セットポイント3LED
- エミッション電流：1mA（1×10-3Pa以下）、10μA（1×10-3Pa以上）
- DEGAS：電子衝撃脱離方式（エレクトロンボンバード）1mA、330V
- センサ耐圧：2×10+5Pa（絶対圧） ※フランジやクランプなどの耐圧力は別途考慮要
- センサ内容積：17cm3
- 使用温度範囲：10～50℃
- 使用湿度範囲：15～80％（ただし、結露なきこと）
- 保管温度：-20～65℃（非通電時、結露なきこと）
- IP保護等級：IP30
- 電源電圧：DC20～28V（リップル、ノイズ1％以下）、8W以下
- 入出力コネクタ：D-sub15ピン（M2.6ネジ）
- 質量：コントローラ/約280g、測定子/80g
- 外形寸法（コントローラ部）：W69mm×D63mm×H90mm
- 適合規格：CE
商品のバリエーション （サイズ違い・スペック違い・オプション品など）
| 商品イメージ | アズワン品番 商品名 |
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65-0279-31
マルチイオンゲージ アナログ出力仕様 本体のみ
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65-0279-30
マルチイオンゲージ アナログ出力仕様 M-46（ICF070）付き
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65-0279-28
マルチイオンゲージ アナログ出力仕様 M-44（NW-16）付き
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65-0279-29
マルチイオンゲージ アナログ出力仕様 M-45（NW-25）付き
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よくあるご質問（FAQ）
掲載カタログ情報
| 掲載カタログ名 | 掲載ページ |
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