65-0279-22 マルチイオンゲージ アナログ出力仕様 SWT-16（NW-16）付き ST200-A
[ULVAC, Inc.] Multi-Ion Gauge Analog Output Specification with SWT-16 (NW-16)
特徴
- 異なる測定範囲の測定子が接続可能なトランスデューサ型『G-TRANシリーズ マルチイオンゲージ』シリーズです。
- 三極管型電離真空計である本製品は、感度低下がしにくく、真空計にとって厳しい環境でもより長く精度の良い真空計測が可能です。
- 従来の、高寿命、低ランニングコストのコンセプトを引き継ぎながら、よりユーザーフレンドリーな改良を行いました。
- 異なる測定範囲の測定子が接続可能：マルチイオンゲージの採用により用途に応じた測定子の選択が可能
- コンパクト：従来品より大幅な小型化を達成（コントローラ容積56％削減）
- ユーザビリティ向上：PC/スマホ接続によりセットポイント設定、状態確認等が可能
- 三極管型メタル電離真空計（特許申請中）：真空計にとって厳しい環境下であっても長寿命を実現
- フィラメント寿命お知らせ機能：フィラメントの電力監視により、フィラメント寿命を事前に通知可能
- 広範囲の圧力測定：大気圧から高真空領域（1×10+5～1×10-5Pa）の測定が可能（オプションユニットSWU10-R接続時）
- 正確な大気圧測定：チャンバーオープンのための大気圧確認が可能（オプションユニットSAU接続時）
- 用途
- 有機EL、タッチパネルなどの製造装置の到達圧力確認およびプロセス管理用に
- 真空炉など各種産業用真空装置の到達圧力確認用に
- ハイドロカーボン（油系）が多い雰囲気での測定に
- 真空部品加工時の切削油や洗浄液が残存している雰囲気での測定に
- 真空計測定子の交換頻度の低減を目指したい真空装置用に
- ※腐食性ガス（ハロゲンガス）雰囲気でのご使用の場合はご相談ください。
仕様
- 仕様：標準仕様
- 接続可能センサ：マルチイオンゲージセンサ/1本、ピラニゲージSWU10-R/1本（オプション）、大気圧センサSAU/1本（オプション）
- 繰返精度（N2）：ST200単体モード/±2％
- サンプリング時間：60ms 5回の移動平均処理
- 測定値出力
- 出力電圧：DC0～10V LOG出力 0.75V/1桁
- 圧力換算式：V=7.25+0.75×（LogP-2） P=10^{（V-7.25）/0.75+2}
- 更新時間：60msec
- 制御入力信号：FIL ON/OFF、FIL 1/2、DEGAS ON/OFF、オープンコレクタ入力で動作、負論理
- 制御出力信号：センサエラー、セットポイント1/2/3、エミッションバリッド、フィラメント電力監視、定格・24VMAX、50mAMAX、飽和電圧1V
- LED表示
- POWER/ERROR：パワー、エラーLED（各モードにより点滅状態が変化）
- エミッション電流：2mA（1×10-2Pa以下）、10μA（1×10-2Pa以上）
- DEGAS：エレクトロンボンバード方式、エミッション電流2mA、グリッド電圧約330V
- センサ耐圧：2×10+5Pa（絶対圧） ※フランジやクランプなどの耐圧力は別途考慮要
- センサ内容積：17cm3
- 使用温度範囲：10～50℃
- 使用湿度範囲：15～80％（ただし、結露なきこと）
- 保管温度：-20～65℃（非通電時、結露なきこと）
- IP保護等級：IP30
- 電源電圧：DC20～28V（リップル、ノイズ1％以下） 8W以下
- 入出力コネクタ：D-sub15ピン（M2.6ネジ）
- 質量：コントローラ/約280g、測定子/80g
- 外形寸法（コントローラ部）：W69mm×D63mm×H90mm
- 適合規格：CE
商品のバリエーション （サイズ違い・スペック違い・オプション品など）
| 商品イメージ | アズワン品番 商品名 |
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65-0279-23
マルチイオンゲージ アナログ出力仕様 SWT-25（NW-25）付き
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65-0279-24
マルチイオンゲージ アナログ出力仕様 本体のみ
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65-0279-22
マルチイオンゲージ アナログ出力仕様 SWT-16（NW-16）付き
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よくあるご質問（FAQ）
掲載カタログ情報
| 掲載カタログ名 | 掲載ページ |
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