65-0279-21 水晶板 銀 5MHz 1組(12枚入) UCR-5MAG-12

[ULVAC, Inc.] Crystal Plate Silver 5 MHz 1 Set (12 Sheets)

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特徴

  • 熱による影響は小さく、周波数安定性は高い。
  • 成膜中の温度特性に優れる
  • レート安定性が良いので、より長い時間使用可能
  • シャッタ開閉時のふらつきや変化(熱衝撃の変化)が小さい
  • 水晶板の入替作業時間を大幅に短縮
  • CRTMシリーズでの基本性能は確認済み

仕様

  • 発振周波数:5MHz
  • 電極材質:Ag(銀)
  • 電極表面:標準仕上げ
  • 外径寸法:Φ12.4
  • 対応成膜コントローラ:CRTM-6000G/CRTM-9200を含む全てのCRTMシリーズ
  • 塔載可能センサ:CRTSシリーズ(シングルセンサ、マルチセンサ)全て
  • 入数:12枚1組
  • 荷姿サイズ:240×345×40mm 0.09kg [荷姿サイズについて]
アズワン品番
65-0279-21
型番
UCR-5MAG-12
入り数
1組(12枚入)
標準価格
14,000円(税抜)
WEB価格
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商品イメージ アズワン品番 商品名
65-0279-19
水晶板 銀 4MHz 1組(12枚入)
65-0279-20
水晶板 金 5MHz 1組(12枚入)
65-0279-21
水晶板 銀 5MHz 1組(12枚入)
67-6870-71
水晶板 金 6MHz 12枚入

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