64-8948-18　液体マスフローメータ　1.0g/min　LM-3212L

特徴

• 液体用マスフローセンサを搭載した高性能のデジタル液体マスフローメータです。
• コントロールバルブ付きVUシリーズと組み合わせることで液体マスフローコントローラとして動作が可能です。
• ソレノイドアクチュエータ駆動回路を内蔵することでソレノイドアクチュエータと連動し、液体マスフローコントローラとして使用可能
• デジタルインターフェイスは、RS-485を標準装備
• リンテック独自の周囲温度補償方式流量センサを搭載
• マイクロプロセッサ内蔵により高機能化を実現
• 耐久性、シール性に優れたメタルシールを採用することで、メンテナンス性が向上
• 金属ケースと各種フィルタの採用により、高周波ノイズや直流磁界のある環境でも安定した動作
• 気化器と組み合わせた使用も可能、その他液種はお問い合わせください。

仕様

• 流量（H2O）：1.0g/min
• 精度：±1.0％F.S.
• 直線性：±0.5％F.S.
• 再現性：±0.5％F.S.
• アナログ流量出力信号：0～5VDC
• 必要差圧：50～300kPa
• 応答時間：3sec
• アナログ流量設定信号：0.25～5VDC
• アナログ流量出力信号：0～5VDC
• 必要差圧：50～300kPa
• 耐圧：1MPa（G）
• 使用保証温度：20～30℃0～80％RH
• リークレート：1×10-11Pa・m3/secHe
• 接液部材質：SUS316L
• シール材：SUS316L
• 所要電源：+15VDC±3％100mA,-15VDC±3％200mA
• 取付姿勢：自由
• アナログコネクタ：Dsub9pin
• デジタルインターフェイス：モジュラジャックRJ45/RS-485
• 重量：800g