64-8948-16 液体マスフローコントローラ LC-3102L
[LINTEC ]
特徴
- ピエゾアクチュエータを内蔵することで液体マスフローコントローラとして一体化
- デジタルインターフェイスは、RS-485を標準装備
- リンテック独自の周囲温度補償方式流量センサを搭載
- マイクロプロセッサ内蔵により高機能化を実現
- デッドボリュームが小さなダイヤフラム構造のバルブ
- 高速、高性能なピエゾアクチュエータを採用
- 耐久性、シール性に優れたメタルシールを採用することで、メンテナンス性が向上
- 金属ケースと各種フィルタの採用により、高周波ノイズや直流磁界のある環境でも安定した動作
- その他液種はお問い合わせください。
仕様
- 流量（H2O）：0.2g/min
- 流量制御範囲：5～100％
- バルブ動作：ノーマリオープン
- 精度：±1.0％F.S.
- 直線性：±0.5％F.S.
- 再現性：±0.5％F.S.
- 応答時間：3sec
- アナログ流量設定信号：0.25～5VDC
- アナログ流量出力信号：0～5VDC
- 必要差圧：50～300kPa
- 耐圧：1MPa（G）
- 使用保証温度：15～35℃0～80％RH
- リークレート：1×10-11Pa・m3/secHe
- 接液部材質：SUS316L,PCTFE
- シール材：Au
- 所要電源：+15VDC±3％100mA-15VDC±3％50mA
- 取付姿勢：自由
- アナログコネクタ：Dsub9pin
- デジタルインターフェイス：モジュラジャックRJ45/RS-485
- バルブ方式：ピエゾアクチュエータ
- 重量：1.0kg
