64-8947-71　高精度表面粗さ・輪郭形状統合測定機　SURFCOM NEX100 SD 13

仕様

• 駆動部/X軸（L=測定長さmm）/センシング方式：リニアスケール
• 駆動部/X軸（L=測定長さmm）/真直度精度/デュアルセンサ搭載ハイブリッド検出器使用時（μm）：0.05+1.0L/1000（標準アーム時）
• 駆動部/X軸（L=測定長さmm）/真直度精度/輪郭測定用高精度検出器使用時：1.0/100μm/mm
• 駆動部/X軸（L=測定長さmm）/真直度精度/輪郭測定用汎用検出器使用時：1.0/100μm/mm
• 駆動部/X軸（L=測定長さmm）/真直度精度/粗さ測定用ピックアップ使用時：0.05+1.0L/1000μm
• 駆動部/X軸（L=測定長さmm）/X軸指示精度（横方向）：±（1.0+1.0L/100）【100mm駆動部輪郭測定時】
• 駆動部/X軸（L=測定長さmm）/分解能：0.016μm
• 駆動部/X軸（L=測定長さmm）/速度：移動時（0.03～60mm/s）、測定時（0.03～20mm/s）
• 駆動部/X軸（L=測定長さmm）/傾斜角度：デュアルセンサ搭載ハイブリッド検出器使用時【±10°（傾斜装置オプション）】、左記以外【±15（傾斜装置オプション）】
• 測定台/コラム/速度/移動時：Max.10mm/s
• 測定台/ベース材質：はんれい岩
• デュアルセンサ搭載ハイブリッド検出器/測定範囲/Z軸（縦方向）：5.0mm（標準アーム）、10.0mm（2倍アーム）
• デュアルセンサ搭載ハイブリッド検出器/粗さ/センシング方式：差動インダクタンス
• デュアルセンサ搭載ハイブリッド検出器/粗さ/測定レンジ：0.05～5.0mm
• デュアルセンサ搭載ハイブリッド検出器/粗さ/測定分解能：1.0～100nm
• デュアルセンサ搭載ハイブリッド検出器/輪郭（H=測定高さmm）/センシング方式：高精度スケール
• デュアルセンサ搭載ハイブリッド検出器/輪郭（H=測定高さmm）/測定レンジ：5.0mm
• デュアルセンサ搭載ハイブリッド検出器/輪郭（H=測定高さmm）/測定分解能：0.015μm（フルレンジ）
• デュアルセンサ搭載ハイブリッド検出器/輪郭（H=測定高さmm）指示精度（縦方向）：±（1.0+|2H|/100）LH=50mmスタイラス時
• デュアルセンサ搭載ハイブリッド検出器/測定子/粗さ輪郭両用/型式：DM84071（LH=100mm、2倍アーム）
• デュアルセンサ搭載ハイブリッド検出器/測定子/粗さ輪郭両用/測定力：0.75mN
• デュアルセンサ搭載ハイブリッド検出器/測定子/粗さ輪郭両用/触針材質：ダイヤモンド
• デュアルセンサ搭載ハイブリッド検出器/測定子/粗さ輪郭両用/触針形状：2μmR/60°円錐
• デュアルセンサ搭載ハイブリッド検出器/測定子/輪郭用/型式：DM48775（LH=100mm、2倍アーム）
• デュアルセンサ搭載ハイブリッド検出器/測定子/輪郭用/測定力：4.0mN
• デュアルセンサ搭載ハイブリッド検出器/測定子/輪郭用/触針材質：超硬合金
• デュアルセンサ搭載ハイブリッド検出器/測定子/輪郭用/触針形状：25μmR/24°円錐
• デュアルセンサ搭載ハイブリッド検出器/測定子/交換方式：交換式
• デュアルセンサ搭載ハイブリッド検出器/共通機能：下向き測定/上側リミット検出安全機構/リトラクト機能
• 電源/電圧・周波数：単相AC100～240V、50/60Hz
• 電源/消費電力：Max.670VA
• 空気源（除振台）/供給圧力：0.45～0.7MPa
• サイズ：600X638X1641mm
• 重量：130kg
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