特徴
- 垂直分解能0.01nmと垂直走査範囲20mmを両立。ワーク表面の微細な表面粗さから、傷・摩耗の解析、砥石や超硬チップの刃先の形状評価まで、幅広い用途での非接触測定・評価が可能です
- 2012年に制定された三次元粗さに関するパラメータ規格ISO25178-2に対応。Sa、Sz等、ISO規格に準拠した三次元粗さパラメータでの解析を行うことができます
- 独自の包絡線/絶対位相検出アルゴリズムDEAPは、高分解能且つ広い測定範囲で、高感度に包絡線を算出します。従来ではうまく測定できなかった機械加工部品の傾斜面でも、より鮮明な形状データの取得が可能です
- 【注意事項】
- お見積りには、ユーザー様情報と製品仕様調整の為に情報またはワーク図等の情報が必要となります。
仕様
- 計測方式：垂直走査型低コヒーレンス干渉法
- 干渉縞ピーク検出方法：DEAPアルゴリズム
- 光源：白色LED
- 垂直方向走査範囲（Z）：20mm
- 垂直分解能：0.01nm
- Z軸指示精度【形状測定時（Z軸）】：±（0.1+|H/1000|）μm（H=測定高さμm）
- CCD画素数：2048X2048
- 測定範囲（X/Y） X10レンズ使用時：1.7X1.7mm
- 横方向分解能（X/Y） X10レンズ使用時：1.12μm
- X軸指示精度：4μm以下
- Y軸指示精度：4μm以下
- 最大測定高さ：159mm
- コラム/Z：電動
- ステージ/XY：手動もしくは電動（いずれもオプション）
- ステージ/チルト：手動
- ステージ/傾斜範囲：±1°
- ステージ/テーブル径：φ148mm
- ステージ/テーブル積載質量：20kg
- 走査速度：1～12μm/sec
- 測定部外径寸法/幅：620mm
- 測定部外径寸法/奥行き：800mm
- 測定部外径寸法/高さ：1532mm
- 電源/電圧：単相AC100/110±10％（50/60Hz）
- 電源/消費電力：1005W
- 電源/供給圧力：0.35-0.7MPa
- 空気源/供給圧力：0.35-0.7MPa
- 精度保証環境条件/環境温度：18～30℃
- 精度保証環境条件/温度変化：±0.5℃/hour
- 重量：175kg
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商品のバリエーション （サイズ違い・スペック違い・オプション品など）
| 商品イメージ | アズワン品番 商品名 |
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64-8947-21
非接触三次元表面粗さ・形状測定機
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64-8947-22
非接触三次元表面粗さ・形状測定機
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よくあるご質問（FAQ）
掲載カタログ情報
| 掲載カタログ名 | 掲載ページ |
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