特徴
- クリーンモジュールユニットを搭載し庫内をクリーンに保ちます。
- レチクルケースをクリーン環境で保管できます。
- サイズ、形状、ケース枚数などオーダーメイドで製作します。
仕様
- 外形寸法：W538×D330×H1270mm
- 本体枠材質：アルミフレーム アルマイト処理
- 側・天・背・底面：アルミ複合板 シルバー
- 窓材質：帯電防止塩ビ 透明
- 扉：マグネットパッキン式
- フィルター：クリーンモジュールユニット1台
- 風量：1.0/0.8^3/min
- ケース受け：ナイロン
- 収納個数：5インチレチクルケース 15段×2列
- ※この商品は別途費用が発生する場合があります。
よくあるご質問（FAQ）
掲載カタログ情報
| 掲載カタログ名 | 掲載ページ |
|---|