特徴
- ターボ分子ポンプとダイヤフラム真空ポンプで構成された真空排気システムです。
- 完全オイルフリーで高い排気速度があります。
- ウェブサーバーが内蔵されており、ブラウザからの遠隔制御やログのダウンロードなどができます。
- 内蔵のアクセサリーポート、2つの真空計を接続できます。
仕様
- 吸気側フランジ：DN 63 CF
- 排気速度：90L/s
- 到達圧力：5×10-10mbar
- 動作電圧：110±10％/230±10％（海外仕様電源変更可能）
- サイズ：371×465×446（mm）
- 本体重量：31kg
- ※電源ケーブルは付属していません。（電源コード：800103V0031）
商品のバリエーション （サイズ違い・スペック違い・オプション品など）
| 商品イメージ | アズワン品番 商品名 |
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64-4283-40
ターボ分子ポンプシステム DN 63 ISO-K
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64-4283-41
ターボ分子ポンプシステム DN 63 CF
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よくあるご質問（FAQ）
掲載カタログ情報
| 掲載カタログ名 | 掲載ページ |
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