特徴
- 「簡単・正確・スピーディ」な測定を実現する輪郭形状測定機
- 測定操作に関するスイッチ類を本体前面に集中配置することで、測定動線を大幅に短縮
- 全測定範囲を電動ジョグシャトルを用いることで、楽にX軸位置決め時の粗微動送りが可能
- Z軸方向の測定高さまでのアプローチや退避を軽い力で素早く、簡単に行えるクイック上下動スタンド(CV-2100M4のみ対応)を新開発し搭載
- Z1軸(検出部)に新開発高精度円弧スケールを搭載
- スタイラス先端の円弧軌道を直読することによって検出機構による誤差を小さくし、高精度・高分解能を実現
- アナログ方式の様に測定倍率を切替えたり、倍率ごとに校正作業を行うことなく全測定範囲内で測定が可能
- 【用途】
- 微細ワークの測定・検査・観察を能率的に行う
- 測定結果情報をリアルタイムに監視
- 不良発生防止
- 【注意事項】
- お見積りには、ユーザー様情報と製品仕様調整の為にワーク図等の情報が必要となります
- 測定機本体構成品の1部に自然石を使用しているため、石表面に模様がある場合がございます
仕様
- 測定範囲/X軸：100mm
- 測定範囲/Z1軸（検出部）：50mm
- 上下移動範囲（Z軸コラム）：なしor350mm
- X軸傾斜機構：±45°
- 分解能/X軸：0.1μm
- 分解能/Z1軸：0.1μm
- 駆動方式/X軸：電動（0～20mm/S）
- 駆動方式/上下移動（Z軸コラム）：なしor 手動（クイック上下動、微動）
- 測定速度：0.02、0.05、0.1、0.2、0.5、1.0、2.0、5.0mm/S
- 真直度精度（X軸水平姿勢時）：2.5μm/100mm
- 指示精度（20°C）/X軸：±（2.5+0.02L）μm L測定長（mm）
- 指示精度（20°C）/Z1軸：±（2.5+|0.1H|）μm H=水平位置からの測定高さで±25mm以内
- 測定方向：引き、押し両方向
- 測定面方向：下方向
- 測定力：30±10mN（3gf）
- スタイラス追従付属品スタイラスにて）：登り77°、下り87°（表面性状による）
- サイズ：外観寸法（幅×奥行×高さ）/651～745×143～450×138.5～885mm
- 重量：5.8～145.8kg
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よくあるご質問（FAQ）
掲載カタログ情報
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