特徴
- 本シリーズに採用した門移動構造は、ステージが動かない為、ワーク固定治具を簡素化
- 短ライフサイクルのワークや軽薄ワークの測定が適し、治具の作成工数を削減可能
- 高密度・小形化が進むICパッケージ、大形プリント基板、メタルマスク、ディスプレイパネルなどの測定に最適
- 測定箇所に合わせて使い分けが可能な3種類のオートフォーカス(サーフェス/エッジ/パターンフォーカス)を全機種標準装備
- 工場オプションでレーザーオートフォーカスを追加可能
- 【用途】
- 微細ワークの測定・検査・観察を能率的に行う
- 測定結果情報をリアルタイムに監視
- 不良発生防止
- 【注意事項】
- お見積りには、ユーザー様情報と製品仕様調整の為にワーク図等の情報が必要となります
仕様
- 測定範囲（X×Y×Z）：800～1500×800～1750×100～150mm
- 観察像：プログラム制御パワータレット 1×ー2×ー6×
- 最小表示量：0.1μm
- 測長ユニット：リニアエンコーダ
- 撮像素子：B&W CCD（1/2型）
- 照明装置/垂直落射照明：白色LED
- 照明装置/透過照明：白色LED
- 照明装置/プログラム制御リング照明：白色LED
- 測定精度 E1/X・Y軸：（1.5+3L/1000）μm～（2.2+3L/1000）μm
- 測定精度 E1/Z軸（画像）：（1.5+4L/1000）μm～（2.5+5L/1000）μm
- 測定精度E2/XY軸：（2.5+4L/1000）μm～（3.5+4L/1000）μm
- 繰返し精度 短寸法/X・Y軸：3σ=0.2μm
- 繰返し精度 長寸法/X・Y軸：3σ=0.7～1.5μm
- トラッキングオートフォーカス装置：搭載あり/なしを選択
- 載物ガラスの大きさ：883～1714×958～1968mm
- 測定物の最大積載量：10～30kg
- サイズ：本体外観寸法（W×D×H）/1475～2440×1860～2898×1554～1603mm
- 重量：約2050～4500kg（設置台含む）
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よくあるご質問（FAQ）
掲載カタログ情報
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