特徴
- 世界最高水準の測定精度E1XY (0.25+L/1000)μmを実現した超高精度CNC画像測定機
- 真直度誤差をきわめて小さくするために案内方式には、制圧空気軸受をX,Y,Zの3軸に採用
- FEM(有限要素法)解析を用いた最適設計により本体の高剛性化を実現
- 基準となる測長系には最小表示量0.01μmの光学式リニアエンコーダを採用
- リニアエンコーダの材質には膨張係数≒0の結晶化ガラスを使用し、温度変化による誤差を最小限に抑えています
- ISO 10360-7:2011(JIS B7440-7.2015)の精度保証に対応
- 【用途】
- 生産現場やその他場所からの作業工程管理を行うシステム構築
- 測定結果情報をリアルタイムに監視
- 作業工程の異常感知
- 不良発生防止
- 【注意事項】
- お見積りには、ユーザー様情報と製品仕様調整の為にワーク図等の情報が必要となります
- 測定範囲(X、Y、Z軸)は、対物レンズ Z-objective 1×使用時です
仕様
- X軸測定範囲：400mm
- Y軸測定範囲：400mm
- Z軸測定範囲：200mm
- 観察装置：プログラム制御パワータレット1×ー2×ー6×
- 最小表示量：0.01μm
- 測長ユニット：リニアエンコーダ
- 撮像素子：B&W CCD（1/2型）
- 照明装置/垂直落射照明：ハロゲン
- 照明装置/透過照明：ハロゲン
- 照明装置/プログラム制御リング照明：ハロゲン
- 測定精度（E1）/X・Y軸：（0.25+L/1000）μm
- 測定精度（E1）/Z軸（フルストローク）：（1.5+2L/1000）μm（範囲200mm）
- 測定精度（E1）/Z軸（50mmストローク）：（1.0+2L/1000）μm（範囲10～60mm）
- 測定精度（E2）/XY平面：（0.5+2L/1000）μm
- トラッキングオートフォーカス装置：搭載あり/なしを選択
- 載物ガラスの大きさ：493×551mm
- 測定物の最大積載量：40kg
- サイズ：本体外観寸法（W×D×H）/1172×1735×1910mm
- 重量：約2150kg（設置台含む）
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よくあるご質問（FAQ）
掲載カタログ情報
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