特徴
- コンパクトかつ軽量なカメラ観専用顕微鏡ユニット
- 金属・樹脂・印刷面・微小な動体等の様々な対象物を観察可能
- YAGレーザ(近赤外・可視・近紫外・紫外)による微細加工に対応(半導体回路のカット・トリミング・修正・マーキング、薄膜(絶縁膜)の除去・加工、液晶カラーフィルタ等のリペア(欠陥修正)など)VMU-LBおよびVMU-L4Bは、顕微鏡本体の剛性や総合性能を強化(従来比)
- シリコン系内部観察、赤外光による分校特性解析などの赤外光学系にも対応可能
- 反射照明光学系に開口絞り付テレセントリック照明を標準装備
- 寸法測定・形状検査・位置決めなどに利用でき、均1照明を必要とする画像処理に最適
- 標準仕様お以外にも2カメラ搭載、2種倍率(低倍率・高倍率)などご要望に応じた設計製作が可能
- 【用途】
- 微細ワークの測定・検査・観察を能率的に行う
- 測定結果情報をリアルタイムに監視
- 不良発生防止
- 【注意事項】
- お見積りには、ユーザー様情報と製品仕様調整の為にワーク図等の情報が必要となります
- レーザ搭載システム商品の性能および安全性は保証いたしかねます
- 赤外光学系に対応するためには、赤外光源や赤外カメラ等が別途必要となります
仕様
- カメラ取付方向：垂直方向or水平方向
- 観察像：明視野/正立像or反転像
- 鏡筒/TVアダプタ：Cマウント及び調心機構付きor Cマウント及び調心機構付き（グリーンフィルタ切替機能付き）
- 鏡筒/結像（チューブ）レンズ：1×（可視・近赤外補正）内蔵or 1×（近赤外～可視～近紫外補正）内蔵or 1×（紫外・可視補正）内蔵
- 鏡筒/レーザ対応：なしor YAGレーザ発振器（基本・第2・3高調波）搭載可or YAGレーザ発振器（第2・3・4高調波）搭載可
- 適応対物レンズ（オプション）/観察用：M Plan Apoシリーズ、M Plan Apo HRシリーズ、M Plan Apo SLシリーズ、G Plan Apoシリーズ
- 適応対物レンズ（オプション）/レーザ加工用：なしor M/LCD Plan Apo NIRシリーズ、M/LCD Plan Apo NUVシリーズ、 M Plan UVシリーズ
- 適応カメラ：2/3型以下カメラ（Cマウントタイプ）
- 反射照明光学系：開口絞り付テレセントリック照明
- 照明装置（オプション）：12V100Wファイバ照明装置（No.378-700）、15V150Wファイバ照明装置（No.176-316）
- 重量：650～1300g
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よくあるご質問（FAQ）
掲載カタログ情報
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