特徴
- 接眼観察部をもつコンパクトな顕微鏡ユニット
- 金属表面や半導体・液晶・樹脂などの多種多様な対象を観察可能
- YAGレーザ(近赤外・可視・近紫外・紫外)による微細加工に対応(半導体回路のカット・トリミング・修正・マーキング、薄膜(絶縁膜)の除去・加工、液晶カラーフィルタ等のリペア(欠陥修正)など)
- 半導体不良解析用プローバ等の光学観察部としても最適
- シリコン系内部観察、赤外光による分校特性解析などの赤外光学系にも対応可能
- 明視野・暗視野・簡易偏光・微分干渉観察に対応した機種をラインアップ
- 反射照明光学系に開口絞り付ケーラ照明を標準装備
- インワードレボルバと長作動距離対物レンズにより顕微鏡下えの高い操作性を確保・反射照明光学系に開口絞り付ケーラ照明を標準装備
- 【用途】
- 微細ワークの測定・検査・観察を能率的に行う
- 測定結果情報をリアルタイムに監視
- 不良発生防止
- 【注意事項】
- お見積りには、ユーザー様情報と製品仕様調整の為にワーク図等の情報が必要となります
- レーザ搭載システム商品の性能および安全性は保証いたしかねます
- 赤外光学系に対応するためには、赤外光源や赤外カメラ等が別途必要となります
- アダプタBはオプション装着になります
- 鏡筒部積載可能質量は、レボルバ・対物レンズ・接眼レンズの各々の質量は含まれません
- FS70L、FS70L4にYAGレーザ発振器を取り付けてご使用される際は、レーザー入力値やエネルギー密度等にご注意ください
- 光学系に損傷を与える恐れがございます
- また、レーザー発振器の重量もご確認ください
- 高速・高加速装置に搭載する場合は1度ご相談ください
仕様
- 観察像：明視野・暗視視野・簡易偏光・微分干渉/正立像
- 接眼レンズ（必須オプション）：10×（視野数24）・15×（視野数16）・20×（視野数12）
- 3眼鏡筒/視野数：24
- 3眼鏡筒/眼幅調整：ジーデントップ型、調整範囲51～76mm
- 3眼鏡筒/ティルト角度：0～20°（-THのみ）、アイポイント移動量約114mm
- 3眼鏡筒/光路：固定式（接眼/TV=50%/50%）又は切換式（接眼/直筒=100%/0%0%/100%）
- 3眼鏡筒/カメラポートマウント部：Cマウント（アダプタB使用）アダプタBで同焦調整or Cマウント仕様（同焦調整機構）or Cマウント仕様（グリーンフィルタ切替機構付き）（同焦調整機構）
- 3眼鏡筒/防護フィルタ：なしor レーザ光カットフィルタ内蔵
- 鏡筒/結像（チューブ）レンズ：1～2×（可視補正）ズーム内蔵or 1×（近赤外～可視～近紫外補正）内蔵or 1×（可視・紫外補正）内蔵
- 鏡筒レーザポート/光学系：なしor 倍率1×、波長355/532/1064nm or 266/532nm
- 鏡筒レーザポート/マウント部：なしor YAGレーザ発振器（基本・第2・3高調波）搭載可or YAGレーザ発振器（第2・4高調波）搭載可
- 合焦部/粗微動：軸粗微動（粗動3.8mm/1回転、微動0.1mm/1回転）
- 合焦部/移動量：50mm、左右ハンドル
- 反射照明光学系：明視野落射照明（ケーラ照明・開口絞り付）
- 照明装置（オプション）：12V100Wファイバ照明装置（No.378-700）/15V150Wファイバ照明装置（No.176-316）いずれも無段階ボリューム調光式、ライトガイド長=1500mm
- レボルバ（必須オプション）：調心同焦マニュアルレボルバ4穴/調心電動レボルバ5穴or マニュアルレボルバ4穴/電動レボルバ4穴or 調心同焦マニュアルレボルバ4穴/調心電動レボルバ5穴
- 対物レンズ（必須オプション）/観察用：M Plan Apoシリーズ、M Plan Apo HRシリーズ、M Plan Apo SLシリーズ、G Plan Apoシリーズ又はBD Plan Apoシリーズ、BD Plan Apo HRシリーズ、BD Plan Apo SLシリーズ
- 対物レンズ（必須オプション）/レーザ加工用：なしor M/LCD Plan Apo NIRシリーズ、M/LCD Plan Apo NUVシリーズor M Plan UVシリーズ
- 鏡筒部積載可能質量：約13.9～14kg（-TH約13.1～13.2kg）
- 重量：6.6～6.7kg（-TH;7.4～7.5kg）
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よくあるご質問（FAQ）
掲載カタログ情報
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