64-3940-13 高精度測定顕微鏡 Hyper MF/MF-U
[Mitutoyo Corporation] High-precision measuring microscope
特徴
- 世界最高精度(最小表示分解能0.01μm)を実現した最高峰の測定顕微鏡
- 操作性を重視したフロントオペレーション設計の本体は、やさしいUD(ユニバーサルデザイン)思想
- 従来の顕微鏡操作のイメージを1新した3軸電動ジョイスティック操作で高速移動から微小位置決めが可能
- ユニバーサル金属顕微鏡鏡筒やレーザAF内蔵鏡筒の選択によって観察多様化・測定のスルートップが向上
- 顕微鏡測定の対応にゆとりを持たせる250×150mmストロークの大形載物台
- 超高精度低膨張ガラススケールと高分解能検出器ヘッドを採用
- データ処理装置のベストセラー【QM-Data200】・【画像ユニット】とのシステム化で効率的で安定した測定環境を提供
- ウエハホルダ(8インチ以下)・高剛性両センタ台など高精度測定ニーズへ対応
- 電動レボルバ仕様は、対物レンズ変倍時の退避機能を装備
- 【用途】
- 微細ワークの測定・検査・観察を能率的に行う
- 測定結果情報をリアルタイムに監視
- 不良発生防止
- 【注意事項】
- お見積りには、ユーザー様情報と製品仕様調整の為にワーク図等の情報が必要となります
- オプションのレボルバは、工場オプション選択になります
- ステージの測定精度は、JIS B 7153に準拠しています
仕様
- 鏡筒/形状：有限補正光学系or無限遠補正光学系、明視野or無限遠補正光学系、明暗視野or無限遠光学系、明視野 LAF付きor無限遠補正光学系、明暗視野 LAF付き
- 鏡筒/標準レチクル（内蔵）：90°鎖線十字線（線幅 5μm）
- 鏡筒/目幅調節：ジーデントップ形 調節範囲51～76mm
- 鏡筒/光路切換比：観察/TV写真=50/50
- 鏡筒/附視角：25°又はティルティング
- 鏡筒/TVポート：標準装備
- 観察像：正立像
- 接眼レンズ/倍率：10×・15×・20×
- 対物レンズ（オプション）/形状：単眼装置（接眼レンズ1個付）又は双眼装置（接眼レンズ2個付）選択、or 10×接眼レンズ2個付
- 対物レンズ（オプション）/ML対物レンズ：なし又は1×・3×・5×・10×・20×・50×・100×
- 対物レンズ（オプション）/明視野（BF）：なし又はM Plan Apo、M Plan Apo SL、G Plan Apo
- 対物レンズ（オプション）/明暗視野（BD）：なし又はBD Plan Apo、BD Plan Apo SL
- レボルバ（オプション）/明視野（BF）：なし又は（マニュアル4穴センサ付/調心電動5穴センサ付 ）
- レボルバ（オプション）/明暗視野（BD）：なし又は（マニュアル4穴センサ付き/電動4穴センサ付）
- 合焦部/最大被検物高さ：150mm
- 合焦部/測定精度：（1.5+10L/1000）μm L測定長（mm）
- 合焦部/駆動方式：ジョイスティックによる電動制御
- 照明装置/透過照明装置：テレセントリック照明・開口絞り内蔵・12V50Wハロゲンランプ・100段階調光式・ファイバ式冷光照明
- 照明装置/反射照明装置：ケーラー照明・可変開口絞り機構・12V100Wハロゲンランプ・100段階調光式・ファイバ式冷光照明
- ステージ/測定範囲（X軸×Y軸）：250×150mm
- ステージ/測定精度（X・Y軸無負荷時）：（0.9+3L/1000）μm） L測定長（mm）
- ステージ/上面寸法：460×350mm
- ステージ/載物ガラス有効寸法：300×200mm
- ステージ/スイベル量：±3°
- ステージ/最大積載質量：30kg
- ステージ/駆動方式：ジョイスティックによる電動駆動
- 検出装置：高精度デジタルスケール（特許登録済）
- デジタル表示/最小表示量：0.01μm
- デジタル表示/表示軸：X・Y・Z軸
- デジタル表示/データ処理装置：QM-Date又は画像ユニット
- 操作部/ジョイスティックロック：あり
- 操作部/ファインピッチ：あり
- 操作部/データ出力：あり
- 操作部/デジタル表示リセット：あり操作部/LAF（トラッキングフォーカス）：なし又はあり
- 操作部/レボルバリモート操作：なし又はあり（電動レボルバ装着時）
- サイズ：本体外観寸法（W×D×H）/880×913×730～770mm
- 重量：約250～255kg
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