特徴
- コントローラ一体型仕様で、ローカル（本体のみ）での起動・停止・リセット操作が可能です。
- 全方位取付可能 （垂直、水平、倒立）取付が可能で、柔軟なレイアウトを可能にしています。
- 磁気軸受とセラミック軸受との組合せ、独自のダンピング機構により低振動と軸受冷却機能を実現し、信頼性が高く長寿命です。
- 高い背圧でも高真空排気を行う事ができ、補助ポンプの小型／軽量化が可能となり、真空排気系のコスト削減に貢献します。
仕様
- 排気速度：70L/s（N2）
- H2圧縮比：4×10^5
- 到達圧力：10^（-8）Pa オーダ（ベーキング後）
- 吸気口フランジ：ICF114
- 排気口フランジ：KF16
- 取付方向：全方位
- DC24V仕様
- 最大所用電力：120 W
- 荷姿サイズ：470×450×380mm [荷姿サイズについて]
商品のバリエーション （サイズ違い・スペック違い・オプション品など）
よくあるご質問（FAQ）
掲載カタログ情報
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