仕様
- 入数：1個
- 検出タイプ：デジタル流量計
- 最小流量：-100 SLPM
- 最大流量：250 SLPM
- 電源電圧：5 V
- パイプの直径範囲：23.5 → 26 mm
- 接続タイプ：JST B4B-ZR-SM4-TF
- 最大圧力：1.07バール
- 素材：金, ポリウレタン, PPSU, Si, Si3N4, ステンレススチール
- 最低対象温度：10 °C
- 最高対象温度：+50
- 動作温度 Min：+10°C
- 動作温度 Max：+50°C
- シリーズ：SFM3200
- RoHS適合状況：適合
- コード番号：174-9067
よくあるご質問（FAQ）
掲載カタログ情報
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