特徴
- SEMI E84の事前／事後チェックにご利用ください。
- 2種類のアプリケーションソフトにより、搬入前の移載シミュレーションと、稼動後の移載トラブル解決に光通信ログデータをDMG/DMJから読み出し、パソコンにタイミングチャートでわかりやすく表示。
仕様
- 構成：BNC-HB1,EPK-BNC1,ACアダプタ（ケーブル長1.2m）,BNC-HB1用ケーブル300mm,アプリケーションソフト（SFOC,RIS）
よくあるご質問（FAQ）
掲載カタログ情報
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取扱点数1400万点
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