63-6538-59　小型卓上スピンコーター　labo-coat

特徴

• 最小・最軽量クラス・簡単操作設定
• 出張や移動に便利な軽量ハンディータイプ。
• 吸着テーブルは、標準装備。
• 真空ポンプは、本体内蔵（振動・防振対策済み）
• 安価な価格設定、コンパクト設計
• 独自開発の制御基盤システムで、簡易操作が可能。
• 操作ボタン2箇所：回転数・加速時間・回転保持時間・減速時間
• ※機械・装置操作が苦手な方でも簡単ボタン操作設定

仕様

• 本体サイズ：W140×D205×H195mm（安全蓋開放時：330mmH）
• 本体重量：3.3kg
• 回転数：8000rpm（MAX）
• 対象基板サイズ：MAX25mm□・1インチウエハ（そのほかサイズ形状は別途ご相談）
• 基板吸着方法：真空ポンプによる吸着
• ユーティリティー：AC電源　100V/2.0A
• カップ蓋を標準装備し、安全にご使用いただけます（安全インターロック制御）
• 材質：カップ/SUS304、吸着テーブル/黒色デルリン/1インチ用（標準装備）
• ※吸着テーブルサイズ・材質は変更可能（要相談）
• ※カップのテフロンコート可能（オプション）
• 荷姿サイズ：395×315×225mm　5.00kg [荷姿サイズについて]