63-5730-58 卓上スピンコーター AJC-500
[Blue Ocean Technology., Ltd.]
特徴
- 研究開発用途の卓上スピンコーター
- タッチパネルにて簡易的な操作設定。（100レシピ10ステップ制御）
- 標準装備の安全蓋にてインターロック制御。
- カップカバーが取り外し可能（清掃も簡単に行えます）
- カップのテフロンコート（オプション）
- 排気ポート付き（本体機内排気が可能です）
- インライン装置としての、インターフェイスが可能。
仕様
- 対象サイズ：MAXφ12インチ・200mm□
- 装置サイズ：W540×D750×H330mm（安全カバー開放時H795mmH）
- ※安全カバーは、標準装備（安全インターロック）
- 装置重量：約46kg
- カップ外径：φ500mm
- カップ材質：SUS+ミガキ
- 基板固定方法：真空吸着方式
- 吸着テーブル：デルリン製（標準仕様） Φ196mm（8インチ用）、Φ290mm（12インチ用）
- スピンモーター：ACサーボモータ
- 回転数：20～5000rpm
- 回転精度：±2rpm
- 回転表示：タッチパネル上にデジタル表示
- プログラム数：100パターン 10ステップ（シーケンサー三菱製Qシリーズ、タッチパネル 三菱製GTシリーズ）
- ※吸着テーブルと真空ポンプは見積範囲外となります。
