63-5379-72 油回転真空ポンプ 1φ200-240V GHD-031B
[ULVAC, Inc.] Oil Rotary Vacuum Pump 1φ200-240 V
特徴
- マグネットカップリング構造の採用により、軸シールからの油漏れがなく、長寿命化を実現します。
- 用途:理化学実験用、分析機器用、レーザー応用機器。真空排気装置、電子顕微鏡のバック。半導体製造装置、スパッタ装置、真空蒸着装置。真空乾燥器、凍結乾燥器。リークディテクタ。
- ※真空ポンプ油は運転とともに劣化し、性能不足の要因となります。定期的に油の減少や汚れを確認し、補充や交換をしてください。
- ※排気口からの油煙(オイルミスト)が大気圧付近では特に発生します。
- ※排気口を塞いだり、排気口側にガスの通過を妨害する機器を付けた状態で、ポンプを運転すると破裂の恐れがあります。ポンプ内圧が上昇して、ポンプ本体が破裂したり、オイルレベルゲージが飛び出したり、モータが過負荷になる恐れがあります。
- ※このモータの過負荷保護装置は、自動復帰型です。
仕様
- 排気速度(L/min)50/60Hz:30/36
- 到達圧力(Pa):0.67
- 吸気口径(mm):KF-16
- 電源(V):単相200-240
- 寸法(mm):120×288.5×163
- サーマルプロテクタ付
- TUV・cTUVus認証取得品
- 重量:9.3kg
- 対応オイルミストトラップ:OMT-050A