63-5379-67　ダイアフラム型ドライ真空ポンプ　1φ100V　DA-81SK

特徴

• ゴムの薄膜（ダイアフラム）の往復運動を利用して排気を行う真空ポンプです。
• 接ガス部には油、水などは使用していないドライ真空ポンプです。サーマルプロテクタを内蔵し、安全面も配慮しました。
• シンプル構造でメンテナンスも容易です。
• 用途：吸着搬送、吸着固定、真空ピンセット。分析機器、理化学機器。半導体検査装置。デバイス組立。自動機、包装機。
• ※ポンプ停止後に再起動する場合、ポンプ内が真空状態ですと再起動しない場合があります。ポンプ内を大気圧に戻せば再起動いたします。
• ※バランスポートが装備されています。これはポンプ室の1段側と2段側の圧力を均衡させ、真空起動を可能にするシステムです。
• ※吸入気体に水分、ゴミ、腐食性ガスなどが混入する場合はそれらを取り除く必要があります。

仕様

• 排気速度（L/min）50/60Hz：75/85
• 到達圧力（Pa）：13.3×10^3
• 吸気口径（mm）：12
• 電源（V）：単相100
• サーマルプロテクタ付
• 低速低圧用
• 寸法（mm）：153×288×202
• 重量：10.2kg