63-4269-05 ［取扱停止］プラズマクリーナー PCU-30
特徴
- PCU-30は、電子顕微鏡の試料観察においてコンタミを除去し、分解能・分析性能の向上を図る装置です。
- 低出力 RF 13.56MHz 励起プラズマ照射による高効率で試料損傷を抑制したクリーニングが可能です。
- TEM,SEM,FIB 試料、試料ホルダー、及び絞りのアンチコンタミ処理が可能です。
- チャンバー排気はターボモレキュラーポンプ、スクロールポンプによる完全クリーン排気系で油分寄せ付けないシステムです。
- 卓上型、小型省スペース・簡易操作を製品化設計に取り込み、ユーザの使い易い、省エネ装置となっています。
- 空気、アルゴン、アルゴン酸素、他広範囲の処理ガスに対応しています。
- RF 電源パワーは、最大50W 以下で高周波電源の届出の必要はありません。
- ※表示価格はあくまで参考価格です。設置取扱い説明の有無、納入地域、オプション等により価格が変動しますので、ご購入ご希望の際は都度お見積りお問い合わせください。
仕様
- 電源：AC100V（単相100V15A）
- 装置サイズ：W480mm×D440mm×H390mm（架台部270mm）
- チャンバー高さはご仕様に応じて変わります。
- 装置重量：約40kg（チャンバー仕様により異なります）
- スクロールポンプ：重量 約14kg
- 排気系：TMP80L/min、SCRP90L/min
- プラズマ電源：周波数13.56MHz、出力0～50W
- 荷姿サイズ：570×600×640mm 40.00kg
