63-4268-99 マルチ成膜装置 VES-10
特徴
- この装置は、2つの独立したチャンバーを持ち、それぞれカーボン蒸着、マグネトロンスパッタ、親水処理の機能を有する装置です。
- 1台で、当社製VC-100S、MSP-1S、PIB-10,3機種の性能を搭載しております。
- 外付けロータリーポンプ排気で2系統の排気管切換を行っております。
- また、それぞれのチャンバーは真空排気と大気解放を独立して行うことが出来、チャンバーは真空の保持が可能です。
- ※表示価格はあくまで参考価格です。設置取扱い説明の有無、納入地域、オプション等により価格が変動しますので、ご購入ご希望の際は都度お見積りお問い合わせください。
仕様
- 電源：AC100V（単相100V15A）1口
- 装置サイズ：幅400mm、奥行360mm、
- ベース高さ280mm
- CARBONチャンバー高さ +185mm
- IONチャンバー高さ +101mm
- 装置重量：29kg
- ロータリーポンプ：排気速度50L／min、重量14.6kg
- 【カーボン蒸着側仕様】
- 試料室サイズ：内径120mm、高さ140mm（硬質ガラス）
- 蒸着源―試料台間隔：45mm～75mmの範囲で調整可能
- 試料ステージサイズ：Φ100mm
- 搭載可能試料サイズ：Φ98mm、最大試料高さ40mm
- 蒸着電源 BAKE、OUTGAS、EVAPO.
- 各固定電圧3段階切換、最適電圧にプリセット
- 【イオンチャンバー側仕様】
- 試料室サイズ：内径120mm、高さ65mm（硬質ガラス）
- 電極―試料台間隔：35mm固定
- 試料台サイズ：Φ50mm（フローティング方式）
- スパッタターゲット：電極 永久磁石内蔵マグネトロン型ターゲット電極
- 永久磁石内蔵マグネトロン型ターゲット電極 Φ51mm、厚さ0.1mm Pt、Pt-Pd、Au、Au-Pd、Ag
- スパッタ電源：DC500V、0～50mA（可変抵抗による調整）
- 親水処理用電極：Φ50mm、SUS製ターゲット
- 親水処理用電源：
- SOFT：450V、10～20mA
- HARD：550V、20～30mA （任意で切換可能）
- 荷姿サイズ：465×400×680mm 30.00kg
