特徴
- この装置はロータリーポンプを使用し、ピラニーゲージで真空度を監視しながらカーボン蒸着を行います。
- 常に一定量のカーボンを蒸発させることにより再現性の高いカーボン蒸着が出来ます。
- カーボン源は専用替え芯SLC-30、又は弊社推奨のシャープペンシル替芯をご使用下さい。
- 100Sの電極は一対、100Wの電極は2対あります。
- 100Wはスイッチ切り換えで、2倍の厚さのコーティングが可能です。
- ロータリーポンプ（RP）を内蔵した一体形です。
- TEM、SEM、X線分析等のカーボン膜作成装置です。
- 樹脂包埋試料のチャージアップ防止等に使用します。
- 100WはXMAやFIB試料の保護膜など、特に厚いカーボン膜作成に利用します。
- ※表示価格はあくまで参考価格です。設置取扱い説明の有無、納入地域、オプション等により価格が変動しますので、ご購入ご希望の際は都度お見積りお問い合わせください。
仕様
- 電源：AC100V（単相100V15A）
- 装置サイズ：W305mm×D370mm×H442mm
- 装置重量：29kg（ロータリーポンプ内蔵）
- 試料室サイズ：内径120mm×高さ140mm
- 蒸着源-試料台間隔：45mm～75mmの範囲で調整可能
- 試料ステージサイズ：直径100mm
