特徴
- この装置は電子顕微鏡観察用オスミウムコーティング装置です。
- ホローカソード試料台を採用し、低電圧放電でコーティングを行うため試料ダメージがほとんどありません。
- プラズマ放電はホローカソード内で行われ、円筒内はプラズマエネルギーで分離した金属Os粒子で満たされます。
- 円筒内に置かれた試料表面には一様な厚さのOs膜が形成されます。
- オスミウムガスはホローカソード内部に必要量だけ注入されますので消費量が少なく、未反応のガスは活性炭トラップで吸着除去し、大気中への有害ガス放出を抑えております。
- ※表示価格はあくまで参考価格です。設置取扱い説明の有無、納入地域、オプション等により価格が変動しますので、ご購入ご希望の際は都度お見積りお問い合わせください。
仕様
- 電源：AC100V（単相100V15A） 1口
- 装置サイズ 幅200mm×奥行き350mm×高さ375mm
- 装置重量 15.5Kg
- ポンプサイズ 排気速度50L／min（G-50DA特型）
- 幅156mm×奥行き341mm×高さ200mm
- ポンプ重量 12Kg
- 試料室サイズ 内径120mm×高さ90mm（硬質ガラス）
- カソードサイズ 内径105mm×深さ37mm（ホローカソード方式）
- 試料ステージサイズ 直径50mm（フローティング方式）
- 荷姿サイズ：410×275×450mm 16.00kg
