特徴
- TEMホルダーをオイルフリー真空下で保管する装置です。
- 本装置を使用することにより、コンタミネーションの付着を大幅に減らすことが可能です。
- 独立した真空室に保管するため、個別に出し入れが可能です。
- TEMホルダーポートはお客様のお使いのTEMホルダーに合わせて製造いたします。
- ※表示価格はあくまで参考価格です。設置取扱い説明の有無、納入地域、オプション等により価格が変動しますので、ご購入ご希望の際は都度お見積りお問い合わせください。
仕様
- 入力電源：AC100V、10A アース線付3芯プラグ使用
- 装置寸法：W585mm×D555mm×H392mm（D寸法はTEMホルダーにより異なります）
- 装置重量：36kg
- 到達真空度：5×10-4Pa以下
- ターボ分子ポンプ・ダイヤフラムポンプ
- 排気系
- ターボ分子ポンプ：80L／sec
- ダイヤフラムポンプ：20L／sec
- 真空度測定：フルレンジ真空計
- 荷姿サイズ：570×600×640mm 37.00kg [荷姿サイズについて]
商品のバリエーション （サイズ違い・スペック違い・オプション品など）
よくあるご質問（FAQ）
掲載カタログ情報
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