63-4268-92　マグネトロンスパッタ装置　MSP-20TK

特徴

• 電子顕微鏡試料などに金属薄膜をコーティングし、導電処理を施すための装置です。
• 煩雑な操作手順を必要としない操作性を持っています。
• ターゲット材料は主にタングステンを使用し、その他の特殊金属においてもコーティング可能な金属は多数存在します。
• 電極は空冷マグネトロン方式を採用し、低電圧で特殊金属のコーティングを可能にします。（気体に含まれる電子がマグネトロン運動をし、イオン化効率を大幅に向上させるため。）試料ダメージを大幅に減少させることに貢献しています。
• アルゴンガスを必須とします。
• ※表示価格はあくまで参考価格です。設置取扱い説明の有無、納入地域、オプション等により価格が変動しますので、ご購入ご希望の際は都度お見積りお問い合わせください。

仕様

• 電源：AC100V,　15A　アース線付3芯プラグ使用3m
• 装置サイズ：本体　W354mm×D368mm×H430　22kg
• ロータリーポンプ：排気速度50L／min（GLD-051）
• 重量：14.6kg
• 試料室サイズ：内径149mm、　深さ126mm
• 試料ステージ：φ47mm　フローティング方式
• ターゲット-試料　間隔：50～70mm
• 試料サイズ：直径≦φ45mm、高さ：≦30mm
• ターゲット：W（標準）、Mo、Cr、Ni、Cu、Ta、Ti等
• 磁場キャンセルNiプレート：貴金属ターゲット（Au/Au-Pd/Pt/Pt-Pd/Pd/Ag）
• 荷姿サイズ：465×400×680mm　22.00kg [荷姿サイズについて]