63-4268-91　マグネトロンスパッタ装置　MSP-20MT

特徴

• この装置は電子顕微鏡試料などに貴金属薄膜をコーティングし、導電処理を施すための装置です。
• 煩雑な操作手順を必要としない操作性、大型試料にもコーティング可能な4インチターゲットを搭載しています。
• ※表示価格はあくまで参考価格です。設置取扱い説明の有無、納入地域、オプション等により価格が変動しますので、ご購入ご希望の際は都度お見積りお問い合わせください。

仕様

• 電源：AC100V,15A　アース線付き3芯プラグ
• 装置本体サイズ：W350mm×D440mm×H350mm
• 装置本体重量：20kg
• ロータリーポンプ：排気速度50L／min（GLD-051）
• 重量：14.6kg
• 試料室サイズ：内径149mm×高さ82mm（硬質ガラス）
• 電極―試料ステージ間隔：50mm
• 試料ステージ：直径100mm
• 搭載可能試料サイズ：φ100mm　（設置可能サイズφ130mm）　高さ35mm
• スパッタターゲット金属仕様：直径100mm　（実効径98mm）、　厚さ0.1mm　Au、Pt、Pt-Pd、Pd、Ag
• 雰囲気ガス：Air（空気）又はAr（アルゴン）
• 荷姿サイズ：465×400×680mm　21.00kg [荷姿サイズについて]