63-4268-90　マグネトロンスパッタ装置　MSP-20UM

特徴

• 電子顕微鏡試料などに貴金属薄膜をコーティングし、導電処理を施すための装置です。
• 様々な用途に対応出来るよう、雰囲気ガスの導入機構、ガス雰囲気圧力調整機能、電流調整機能を備えています。
• 条件設定に従って一連のコーティング操作を自動で行うことが出来ます。不純物の混入を最小限にするバイパス排気システムや誤操作防止のインターロックが充実しています。
• 別途オプションで回り込み性能を向上させる傾斜回転機構をご用意しております。
• ※表示価格はあくまで参考価格です。設置取扱い説明の有無、納入地域、オプション等により価格が変動しますので、ご購入ご希望の際は都度お見積りお問い合わせください。

仕様

• 電源：AC100V（単相100V15A）1口　アース線付き3芯プラグ使用
• 装置サイズ：幅350mm×奥行き420mm×高さ347mm
• 装置重量：18Kg
• ロータリーポンプ：排気速度50L／min（GLD-051）重量14.6kg
• 試料室サイズ：内径149mm×高さ82mm（硬質ガラス）
• 電極―試料ステージ間隔：40mm
• 試料ステージサイズ　Φ50mm（フローティング方式）
• ※オプション傾斜回転使用時
• 傾斜角度：0～45°
• 回転速度：60rpm
• 搭載可能試料サイズ　標準：≦Φ50mm、高さ≦20mm
• ※オプション傾斜回転使用時
• 傾斜時：≦Φ20mm、高さ≦20mm
• スパッタターゲット金属仕様：Φ51mm、厚さ0.1mm（Agのみ0.5mm）　Pt、Au、Au-Pd、Pt-Pd、Pd、Ag
• 雰囲気ガス：Air（空気）又はAr（アルゴン）
• 荷姿サイズ：465×400×680mm　18.00kg [荷姿サイズについて]