63-4268-89　マグネトロンスパッタ装置　MSP-1S

特徴

• SEM観察用貴金属薄膜コーティング専用装置です。
• SEM試料のチャージアップを防止し、二次電子の発生効率を向上させるための貴金属コーティングを行う装置です。
• マグネトロンターゲット電極による低電圧放電に加えて、試料台をフローティング方式にすることにより、電子線流入による試料損傷を軽減しております。
• 操作は簡単、ボタンを押すだけ、上手下手がありません。小型で場所をとりません。机の片隅で活躍します。
• ※表示価格はあくまで参考価格です。設置取扱い説明の有無、納入地域、オプション等により価格が変動しますので、ご購入ご希望の際は都度お見積りお問い合わせください。

仕様

• 電源：AC100V（単相100V10A）アース付き3Pプラグ　1口
• ロータリーポンプ：10L／min（装置に内蔵）
• 装置サイズ：幅200mm×奥行き350mm×高さ345mm（装置重量：14.6Kg）
• 試料室サイズ：内径120mm×高さ65mm（硬質ガラス）
• 試料台サイズ　直径50mm（フローティング方式）
• 電極-試料台間隔：35mm（補助試料台使用時25mm）
• ターゲット電極：永久磁石内蔵マグネトロン型ターゲット電極
• ターゲット金属仕様：Φ51mm、厚さ0.1mm　Pt、Pt-Pd、Au、Au-Pd、Ag
• 荷姿サイズ：410×275×450mm　15.00kg [荷姿サイズについて]