特徴
- ボタンひとつでオートコーティング。煩わしい操作が一切ありません。
- 小型ターゲット（φ30mm）を採用。
- 低ランニングコストを実現。
- 標準でAuターゲットが付属。卓上SEMの前処理に実力を発揮します。
- オプションターゲットのAg膜は光沢に優れ、透明材料表面の光学顕微鏡観察を容易にします。
- ※表示価格はあくまで参考価格です。設置取扱い説明の有無、納入地域、オプション等により価格が変動しますので、ご購入ご希望の際は都度お見積りお問い合わせください。
仕様
- 電源：AC100V, 10A アース線付3芯プラグ使用
- 装置サイズ：本体 W180mm×H183mm×D280mm 5kg
- 試料室サイズ：内径86mm×深さ60mm（硬質ガラス）
- 試料ステージ：φ83mm
- 試料サイズ：有効径φ30mm、高さ20mm以下
- ターゲット：φ30mm マグネトロン型 Au（標準）、Ag（オプション）
- 荷姿サイズ：410×275×450mm 10.00kg [荷姿サイズについて]
商品のバリエーション （サイズ違い・スペック違い・オプション品など）
| 商品イメージ | アズワン品番 商品名 |
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63-4268-88
マグネトロンスパッタ装置
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63-4268-92
マグネトロンスパッタ装置
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63-4268-91
マグネトロンスパッタ装置
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63-4268-90
マグネトロンスパッタ装置
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63-4268-93
マグネトロンスパッタ装置
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69-5529-12
マグネトロンスパッタ装置
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63-4268-89
マグネトロンスパッタ装置
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よくあるご質問（FAQ）
掲載カタログ情報
| 掲載カタログ名 | 掲載ページ |
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