特徴
- オープン式卓上タイプ
- 研究開発・R＆D用途の精密塗布スピンコーターです。
仕様
- 対象サイズ：Max150mm□
- スピンモーター：ACサーボモータ
- カップ外径：φ300mm
- 回転数：20～9000rpm（Max）
- カップ材質：SUS＋ミガキ
- 回転精度：±2rpm
- 基板固定方法：真空吸着方式
- 回転表示：タッチパネル上にデジタル表示
- テーブル：デルリン製
- プログラム数：100パターン、10ステップ
- 吸着テーブル：Φ18mm・Φ46mm・Φ96mm
- 装置1台に対して試料台は1種類となります。
- 構成品：本体×1台、試料台（φ6用、POM）×1個、基板吸着用真空ポンプ×1台
よくあるご質問（FAQ）
掲載カタログ情報
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