特徴
- 離型剤塗布装置（4inchウエハー対応。ディップ方式）。
- 洗浄、離型剤とリンス槽の3槽構造。
仕様
- 速度域：0.1mmから10mm/sec
- 塗布対象物最大サイズ：4inchウエハー
- ストロークZ軸：140mm
- 装置サイズ：W450×D670×H685mm
- 制御BOX：W300×D285×H163mm
よくあるご質問（FAQ）
掲載カタログ情報
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取扱点数1400万点
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