特徴
- 超低速1n（ナノ）m/secの速度制御が可能。
- Z・X・θ軸（のみ手動）の3軸制御
仕様
- 速度域：1nmから60mm/sec
- 塗布対象物最大サイズ：H100mm
- ストローク：Z軸100mm、X軸100mm
- 装置サイズ：W442×D250×H451mm
- 制御BOX：W300×D285×H163mm
よくあるご質問（FAQ）
掲載カタログ情報
| 掲載カタログ名 | 掲載ページ |
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取扱点数1400万点
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