特徴
- 使用可能流体は、乾燥空気、窒素、アルゴン、二酸化炭素。
- 繰り返し精度は±1％F.S以下。
- 瞬時流量・積算流量の表示が可能。
- ACアダプタ方式で配線作業が簡単。
- コンタミ混入防止用の中空糸マイクロフィルター（0.01ミクロン）を標準装備。
- 流量調整弁を一体化しており流量の調整が可能。
- 配管がしやすい背面配管。
- 検出原理はMEMS。
仕様
- 使用流体：乾燥空気、N2、Ar、CO2
- 流量レンジ：0.5～25L/min（CO2の場合は左記の1/2）
- 精度：±3％F.S以下（乾燥空気にて）
- 表示単位：瞬時流量（L/min）、積算流量（L）
- 配管口径：Rc1/4メネジ（出口/入口共）
- 電源：AC100V（ACアダプタ方式）
- サイズ：W122×D130×H72mm
- 質量：約1.2kg
- 荷姿サイズ：160×210×115mm 1.20kg [荷姿サイズについて]
商品のバリエーション （サイズ違い・スペック違い・オプション品など）
よくあるご質問（FAQ）
掲載カタログ情報
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