63-2578-39　nEXT85D　ターボ分子ポンプ　B8G210C01

特徴

• 複合ドラッグステージと一体型コントローラを備えたハイブリッド軸受けポンプで、42～400L/sの排気速度で提供されています。
• 永久磁石製上部軸受けが特長でハイドロカーボンのない、高/超高真空を実現し、信頼性の高い高速運転を可能にします。
• オンボードコントローラは当社のTICおよびTAGコントローラに直接接続できるため、低コストのシステム統合を実現しています。
• ユーザーが交換可能な軸受けカートリッジによってユーザー保守性を提供し、所有コストを低減しています。

仕様

• 排気速度：61L/s（N2）
• 圧縮比：＞1011
• 到達圧力：＜5×10-8
• インレットフランジ：CF63-K
• DC24V仕様
• ※商品説明動画をご覧いただけます（ナレーションは英語です）。
• ※海外向けの販売不可