63-1935-69　［取扱停止］ICF152　ビューポートシャッター　ICF152VPS

特徴

• 真空チャンバー内で発生した蒸発物質等をシャッターに付着させ、ビューポートを常にクリアーに保ちます。
• また、RHEED(反射光速電子解析)、光学系の遮断に使用されています。
• シャッターはマグネットカップリングタイプの導入で制御されています。