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特徴
- 大気圧センサ、荒引ゲージ、高真空ゲージの領域をカバー。これ一台で大気から超高真空までを切替無しに計測ができます。
- センサーと回路が一体のトランスデューサー型で、本体に圧力表示も付いていますので、外部制御器が不要、本体のみで計測ができます。
- 操作不要：DC24Vを接続するだけで、圧力がデジタル表示されます。大気圧から超高真空まで何の操作も必要なく自動計測。
- アナログ出力、RS485インターフェイス、セットポイント3点を標準装備。
- タフで安全：高真空測定にはB-Aゲージに比べて丈夫なコールドカソードゲージを使用しています。高温のフィラメントが無いので突然の断線による計測停止の心配がありません。
- 優れた精度と安定性：ピラニゲージに比べて遥かに安定なクリスタルゲージを大気圧から荒引き圧力の測定に使用しています。
- イージーメンテナンス：ゲージのクリーニング、交換等のメンテナンスが、簡単にお客様ご自身で可能。
- アクセサリ、拡張性：ACアダプタ、専用のデータロガーソフト、外部表示器などをアクセサリで用意しています。
仕様
- 取付フランジ：ICF70
- 圧力測定表示：1.0×10-7Paから大気圧
- 測定方式：水晶真空センサー（大気圧および荒引き圧力）+ダブルインバーティッドマグネトロンコールドカソードゲージ（高真空側）
- 圧力表示：7セグメントLEDによるデジタル表示を本体に標準装備
- 圧力信号外部出力：アナログ出力0-10V（Logまたは複合リニア出力を選択可能）
- セットポイント：3点（ヒステリシス付）標準装備DC50V、0.12A フォトモスリレー 1点は独立、2点はコモン共通
- リレーI/O：クリスタル0調整、大気圧調整、CCG切替禁止の各入力
- デジタルインターフェース：RS485を標準装備
- 入力電圧：DC22-26V
- 消費電力：Max 8W
- 使用環境：-40℃～+55℃（保管時）
- 周囲温度：max50℃（動作時）
- ベーキング温度：制御回路部を外しセンサー単体にて150℃
- 接続コネクタ：Dsub15ピン（メスコネクタを添付）
- 重量：1060g
- ICF70（回転）フランジ付
- Dサブコネクタ（メス）添付
- 荷姿サイズ：230×105×100mm 1.19kg [荷姿サイズについて]
商品のバリエーション （サイズ違い・スペック違い・オプション品など）
よくあるご質問（FAQ）
掲載カタログ情報
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