特徴
- EXTおよびnEXTターボ分子ポンプは、複合ドラッグステージと一体型コントローラを備えたハイブリッド軸受けポンプで、42～400L/s の排気速度で提供されています。
- いずれも永久磁石製上部軸受けが特長でハイドロカーボンのない、高/超高真空を実現し、信頼性の高い高速運転を可能にします。
- オンボード コントローラは当社のTICおよびTAG コントローラに直接接続できるため、低コストのシステム統合を実現しています。
- nEXTモデルでは、ユーザーが交換可能な軸受けカートリッジによってユーザー保守性を提供し、所有コストを低減しています。
仕様
- 排気速度：61L/s(N2)
- 圧縮比：>1011
- 到達圧力：<5×10-8
- インレットフランジ：CF63-K
- DC24V仕様
商品のバリエーション （サイズ違い・スペック違い・オプション品など）
| 商品イメージ | アズワン品番 商品名 |
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62-3808-49
EXT75DX ターボ分子ポンプ CF63-K
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62-3808-50
EXT75DX ターボ分子ポンプ NIW40
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62-3808-48
EXT75DX ターボ分子ポンプ ISO63-K
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62-3808-47
EXT75DX ターボ分子ポンプ ISO100-K
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よくあるご質問（FAQ）
掲載カタログ情報
| 掲載カタログ名 | 掲載ページ |
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