62-2991-46　［取扱停止］マフスローコントローラ カスタムユニット　CU2130-E40MK3-500CCM

特徴

• AC100V電源に接続とガス配管接続で、簡単にご使用可能。
• 操作性を考慮した卓上デザインでコンパクトかつ持ち運び可能。
• パネルキー操作による流量設定が可能
• SEC-Eシリーズ以外のMFCの搭載も可能です、ご要望の際はお問い合わせください。

仕様

• 対応ガス種：N2,O2,AIR,H2,Ar,He(※他のガス種にも対応しております。お問い合わせください。)
• 流量精度：±1%F.S
• 応答速度：1秒以内（T98）
• 流量制御範囲：2～100%F.S.
• 標準継手：1/4Swagelok(※2130は1/4RC、VCR継手でも対応可能)
• フルスケール流量(CCM)：500
• サイズ：95×188×161
• 入数：1個
• 荷姿サイズ：280×170×205mm　2.30kg [荷姿サイズについて]