特徴
- 新方式のトルネードフロー方式による安定気化発生を実現した、小型の液体材料気化システムです。
- 高効率気化方式により、低温度での安定気化を実現。熱分解しやすい液体材料においても気化性能が向上。
- キャリアガス導入モデル
仕様
- 対応液種：HCl, HF等のステンレスを腐蝕する液体を除く材料
- 温度：気化条件による（Control Valve : Max 140℃ Vaporizer : Max 200℃）
- 液相：H2O 0.02g/min～5.0g/minまで対応可能
- ※仕様詳細は別途お打合せ
- 荷姿サイズ：264×264×108mm 2.30kg [荷姿サイズについて]
よくあるご質問（FAQ）
掲載カタログ情報
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