特徴
- マスフローコントローラを搭載した、混合ガス発生装置です。
- 流量比混合法により、正確な濃度の混合ガスを発生
- プログラム機能付き（最大52STEP）
- 専用ソフトにより発生ガス流量・ガス濃度の設定が簡単に行えます
仕様
- 発生最大流量：50SLM
- 搭載可能MFC：SEC-N100シリーズ
- 流量精度：±1%S.P.(各ラインMFC単体性能)
- 流量再現性：±0.2%F.S.(各ラインMFC単体性能)
- ※仕様詳細は別途お打合せ
- ※価格にパソコンの費用は含まれておりません
商品のバリエーション （サイズ違い・スペック違い・オプション品など）
| 商品イメージ | アズワン品番 商品名 |
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62-2991-22
ガス混合器 5成分混合装置
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62-2991-19
ガス混合器 2成分混合装置
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62-2991-21
ガス混合器 4成分混合装置
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62-2991-23
ガス混合器 6成分混合装置
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62-2991-20
ガス混合器 3成分混合装置
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よくあるご質問（FAQ）
掲載カタログ情報
| 掲載カタログ名 | 掲載ページ |
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