62-2991-18 ［取扱停止］コンパクトプロセスモニタ 4～300AMU KF/NW16フランジ取り合い MICROPLE System-300-K
[HORIBA] Compact Process Monitor 4~300AMU KF/NW16 Flange Connection
特徴
- 四重極質量分析計の測定原理使った、コンパクトプロセスガスモニタです。
- 低真空（高圧）域0.5Pa（3.8mtorr）での操作可能
- コンパクト
- ユーザーによるセンサ交換が可能で休止期間を最低限に出来ます
仕様
- 測定範囲：4～300AMU
- 最大使用圧力(N2)：0.9Pa
- 最小検知分圧(N2)：5×10-6Pa(70eV)
- プラズマガード付きセンサー：KF/NW16フランジ取り合い
- セット製品詳細：①スペクトラムジェネレーター/②センサー/③電源ユニット/④SG-電源間ケーブル3m/⑤SG-PC間ケーブル3m/⑥専用クランプ/⑦ソフトウェア/⑧USB-シリアル変換機/⑨変換アダプタ
- ※単体購入は別途お打合せ
- ※オプションで差動排気システムもございます
- 荷姿サイズ：240×200×115mm 0.70kg [荷姿サイズについて]
商品のバリエーション （サイズ違い・スペック違い・オプション品など）
| 商品イメージ | アズワン品番 商品名 |
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62-2991-18
コンパクトプロセスモニタ 4～300AMU KF/NW16フランジ取り合い
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62-2991-16
コンパクトプロセスモニタ 2～100AMU KF/NW16フランジ取り合い
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62-2991-13
コンパクトプロセスモニタ 2～65AMU φ34CF取り合い
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62-2991-14
コンパクトプロセスモニタ 2～65AMU KF/NW16フランジ取り合い
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62-2991-15
コンパクトプロセスモニタ 2～100AMU φ34CF取り合い
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62-2991-17
コンパクトプロセスモニタ 4～300AMU φ34CF取り合い
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よくあるご質問（FAQ）
掲載カタログ情報
| 掲載カタログ名 | 掲載ページ |
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