61-9948-63 小型ハンディ質量流量 測定ユニット ＦＬＯＷ ＣＯＭＰＯ（ＴＭ） ３１００ＭＦＭ ２０ｓｌｍ／ｍｉｎ FCM4000-3100-AIR-20SLM-1/4SW-20℃
[KOJIMA INSTRUMENTS INC.] Small Handy Mass Flow Measurement Unit FLOW COMPO (TM) 3100MFM 20Slm/Min
特徴
- F.S.1SCCMの微小流量に対応したハイグレードマスフローメータとリードアウトユニットを内蔵した小型ハンディ質量流量測定ユニットです。
- タッチパネル式で簡単操作可能です。
- ご要望に応じてAIR以外の流体（N2、H2、He、Aｒ、O2、CO2他各種ガス）用の製作も可能です。ご相談ください。
仕様
- センサー方式：熱式センサー
- 対象流体：AIR用※別途ご用命があれば他の流体（Ar、CO2、H2、He、N2、O2等）でも製作可能
- フルスケール：20slm/min（20℃ 1atm 体積流量表示）（※0℃校正可能です。ご相談ください。）
- 流量精度：±1.0%F.S.（20℃）
- 耐圧：980KPA（G）
- 接ガス部材質：SUS316L、FKM他
- 接続口径：1/4スウェージロック（※その他継手ご相談ください。）
- 電源：AC85～264V 48～440Hz
商品のバリエーション （サイズ違い・スペック違い・オプション品など）
| 商品イメージ | アズワン品番 商品名 |
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61-9948-59
小型ハンディ質量流量 測定ユニット ＦＬＯＷ ＣＯＭＰＯ（ＴＭ） ３１００ＭＦＭ １ｓｌｍ／ｍｉｎ
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61-9948-54
小型ハンディ質量流量 測定ユニット ＦＬＯＷ ＣＯＭＰＯ（ＴＭ） ３１００ＭＦＭ ３０ｓｃｃｍ／ｍｉｎ
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61-9948-63
小型ハンディ質量流量 測定ユニット ＦＬＯＷ ＣＯＭＰＯ（ＴＭ） ３１００ＭＦＭ ２０ｓｌｍ／ｍｉｎ
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61-9948-56
小型ハンディ質量流量 測定ユニット ＦＬＯＷ ＣＯＭＰＯ（ＴＭ） ３１００ＭＦＭ １００ｓｃｃｍ／ｍｉｎ
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61-9948-52
小型ハンディ質量流量 測定ユニット ＦＬＯＷ ＣＯＭＰＯ（ＴＭ） ３１００ＭＦＭ ５ｓｃｃｍ／ｍｉｎ
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61-9948-62
小型ハンディ質量流量 測定ユニット ＦＬＯＷ ＣＯＭＰＯ（ＴＭ） ３１００ＭＦＭ １０ｓｌｍ／ｍｉｎ
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61-9948-58
小型ハンディ質量流量 測定ユニット ＦＬＯＷ ＣＯＭＰＯ（ＴＭ） ３１００ＭＦＭ ５００ｓｃｃｍ／ｍｉｎ
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61-9948-60
小型ハンディ質量流量 測定ユニット ＦＬＯＷ ＣＯＭＰＯ（ＴＭ） ３１００ＭＦＭ ３ｓｌｍ／ｍｉｎ
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61-9948-57
小型ハンディ質量流量 測定ユニット ＦＬＯＷ ＣＯＭＰＯ（ＴＭ） ３１００ＭＦＭ ３００ｓｃｃｍ／ｍｉｎ
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61-9948-53
小型ハンディ質量流量 測定ユニット ＦＬＯＷ ＣＯＭＰＯ（ＴＭ） ３１００ＭＦＭ １０ｓｃｃｍ／ｍｉｎ
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61-9948-61
小型ハンディ質量流量 測定ユニット ＦＬＯＷ ＣＯＭＰＯ（ＴＭ） ３１００ＭＦＭ ５ｓｌｍ／ｍｉｎ
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61-9948-55
小型ハンディ質量流量 測定ユニット ＦＬＯＷ ＣＯＭＰＯ（ＴＭ） ３１００ＭＦＭ ５０ｓｃｃｍ／ｍｉｎ
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61-9948-51
小型ハンディ質量流量 測定ユニット ＦＬＯＷ ＣＯＭＰＯ（ＴＭ） ３１００ＭＦＭ １ｓｃｃｍ／ｍｉｎ
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よくあるご質問（FAQ）
掲載カタログ情報
| 掲載カタログ名 | 掲載ページ |
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