61-9948-33 小型ハンディ質量流量 制御ユニット ＦＬＯＷ ＣＯＭＰＯ（ＴＭ） ３２００ＭＦＣ ３００ｓｃｃｍ／ｍｉｎ FCC4000-3200-AIR-300SCCM-1/4SW-20℃
[KOJIMA INSTRUMENTS INC.] Small Handy Mass Flow Control Unit FLOW COMPO (TM) 3200MFC 300Sccm/Min
特徴
- F.S.1SCCMの微小流量に対応したハイグレードマスフローコントローラとリードアウトユニットを内蔵した小型ハンディ質量流量制御ユニットです。
- タッチパネル式でフルスケール設定、流量設定、バルブ開閉など簡単操作可能です。
- ご要望に応じてAIR以外の流体（N2、H2、He、Aｒ、O2、CO2他各種ガス）用の製作も可能です。ご相談ください。
仕様
- センサー方式：熱式センサー
- 対象流体：AIR用※別途ご用命があれば他の流体（Ar、CO2、H2、He、N2、O2等）でも製作可能
- フルスケール：300sccm/min（20℃ 1atm 体積流量表示）（※0℃校正可能です。ご相談ください。）
- バルブ方式：比例ソレノイドバルブ（非通電時 閉）
- 制御/計測範囲：2～100%F.S
- 流量精度：±1.0%F.S.（15～35℃）
- 耐圧：980KPA（G）
- 接ガス部材質：SUS316L、FKM他
- 接続口径：1/4スウェージロック（※その他継手ご相談ください。）
- 電源：AC85～264V 48～440Hz
商品のバリエーション （サイズ違い・スペック違い・オプション品など）
| 商品イメージ | アズワン品番 商品名 |
|---|---|
|
61-9948-28
小型ハンディ質量流量 制御ユニット ＦＬＯＷ ＣＯＭＰＯ（ＴＭ） ３２００ＭＦＣ ５ｓｃｃｍ／ｍｉｎ
|
|
|
61-9948-27
小型ハンディ質量流量 制御ユニット ＦＬＯＷ ＣＯＭＰＯ（ＴＭ） ３２００ＭＦＣ １ｓｃｃｍ／ｍｉｎ
|
|
|
61-9948-35
小型ハンディ質量流量 制御ユニット ＦＬＯＷ ＣＯＭＰＯ（ＴＭ） ３２００ＭＦＣ １ｓｌｍ／ｍｉｎ
|
|
|
61-9948-32
小型ハンディ質量流量 制御ユニット ＦＬＯＷ ＣＯＭＰＯ（ＴＭ） ３２００ＭＦＣ １００ｓｃｃｍ／ｍｉｎ
|
|
|
61-9948-30
小型ハンディ質量流量 制御ユニット ＦＬＯＷ ＣＯＭＰＯ（ＴＭ） ３２００ＭＦＣ ３０ｓｃｃｍ／ｍｉｎ
|
|
|
61-9948-31
小型ハンディ質量流量 制御ユニット ＦＬＯＷ ＣＯＭＰＯ（ＴＭ） ３２００ＭＦＣ ５０ｓｃｃｍ／ｍｉｎ
|
|
|
61-9948-39
小型ハンディ質量流量 制御ユニット ＦＬＯＷ ＣＯＭＰＯ（ＴＭ） ３２００ＭＦＣ ２０ｓｌｍ／ｍｉｎ
|
|
|
61-9948-29
小型ハンディ質量流量 制御ユニット ＦＬＯＷ ＣＯＭＰＯ（ＴＭ） ３２００ＭＦＣ １０ｓｃｃｍ／ｍｉｎ
|
|
|
61-9948-36
小型ハンディ質量流量 制御ユニット ＦＬＯＷ ＣＯＭＰＯ（ＴＭ） ３２００ＭＦＣ ３ｓｌｍ／ｍｉｎ
|
|
|
61-9948-37
小型ハンディ質量流量 制御ユニット ＦＬＯＷ ＣＯＭＰＯ（ＴＭ） ３２００ＭＦＣ ５ｓｌｍ／ｍｉｎ
|
|
|
61-9948-38
小型ハンディ質量流量 制御ユニット ＦＬＯＷ ＣＯＭＰＯ（ＴＭ） ３２００ＭＦＣ １０ｓｌｍ／ｍｉｎ
|
|
|
61-9948-34
小型ハンディ質量流量 制御ユニット ＦＬＯＷ ＣＯＭＰＯ（ＴＭ） ３２００ＭＦＣ ５００ｓｃｃｍ／ｍｉｎ
|
|
|
61-9948-33
小型ハンディ質量流量 制御ユニット ＦＬＯＷ ＣＯＭＰＯ（ＴＭ） ３２００ＭＦＣ ３００ｓｃｃｍ／ｍｉｎ
|
よくあるご質問（FAQ）
掲載カタログ情報
| 掲載カタログ名 | 掲載ページ |
|---|