61-9948-21　小型ハンディ質量流量　制御ユニット　ＦＬＯＷ　ＣＯＭＰＯ（ＴＭ）　３６６０ＭＦＣ　５００ｓｃｃｍ／ｍｉｎ　FCC4000-3660-AIR-500SCCM-1/4SW-20℃

特徴

• マスフローコントローラとリードアウトユニットを内蔵した小型ハンディ質量流量制御ユニットです。
• タッチパネル式でフルスケール設定、流量設定、バルブ開閉など簡単操作可能です。
• ご要望に応じてAIR以外の流体（N2、H2、He、Aｒ、O2、CO2他各種ガス）用の製作も可能です。ご相談ください。

仕様

• センサー方式：熱式センサー
• 対象流体：AIR用※別途ご用命があれば他の流体（Ar、CO2、H2、He、N2、O2等）でも製作可能
• フルスケール：500sccm/min（20℃ 1atm　体積流量表示）（※0℃校正可能です。ご相談ください。）
• バルブ方式：比例ソレノイドバルブ（非通電時 閉）
• 制御/計測範囲：2～100%F.S
• 流量精度：±1.0%F.S.（25℃）
• 耐圧：980KPA（G）
• 接ガス部材質：SUS316、FKM
• 接続口径：1/4スウェージロック（※その他継手ご相談ください。）
• 電源：AC85～264V　48～440Hz