61-9659-59 ［取扱停止］プラズマドライクリーナー PDC610
[Yamato Scientific Co., Ltd.] plasma dry cleaner
特徴
- プラズマを使用した表面処理装置。“使いやすく簡単”をポイントにした卓上型高性能タイプです。気軽にデータ取りができるため電子材料を中心に多くの用途に対応します。
- 最高出力600Wと小型高出力
- 電極を1段・2段・3段と変更可能
- 縦型マガジン等の処理が可能
- RIE/DPモード切替方式
- データロガー組み込み（オプション）
- マッチングポイント記憶機能（オプション）
仕様
- プラズマモード：RIE/DP
- 電極構造：3段独立平行平板
- 高周波出力：mAX600W
- 発信周波数：13.56mHz
- 制御・表示方式：シーケンサー・タッチパネル
- チャンバー寸法：350×270×300mm
- チャンバー材質：A5052
- 反応ガス：2系統（アルゴン、酸素）
- パージガス：窒素またはドライエア
- 真空ポンプ：ロータリー真空ポンプ（約345L/分）
- 外形寸法：600×722×700mm
- 外装材質：ステンレス
- 電源※：三相 AC200 50/60Hz
- 海外規格：FCC
- コード番号：328216
