ヤマト科学

61-9659-57　［取扱停止］中型プラズマ装置　V1000X

[Yamato Scientific Co., Ltd.] Medium size plasma device

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特徴

  • プラズマ効率向上のため、特殊電極構造に変更可能
  • 高精度マッチングユニット、RF電源は高信頼性

仕様

  • プラズマモード：DP/RIE
  • 高周波電源：13.56mHz
  • 出力（mAX）：1,000 & 1,500W
  • 電極有効ステージ寸法：幅300×奥行300/mm、二段電極（独立）
  • 反応ガス：マイクロコントロール2系統（パージガス系別途付）
  • 真空ポンプ：670 & 1,500L/min
  • 安全装置：ドアSW、測板インターロック、非常停止SW
  • コード番号：328213
アズワン品番
61-9659-57
JANコード
4573181501384
型番
V1000X
入り数
1個
標準価格
15,000,000円（税抜）
WEB価格
-円
取扱停止
アズワン在庫 [?]
数量

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商品イメージ アズワン品番 商品名
61-9659-57
中型プラズマ装置
61-9659-56
中型プラズマ装置
61-9659-58
大型プラズマ装置

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