ヤマト科学

61-9659-56　中型プラズマ装置　V1000

[Yamato Scientific Co., Ltd.] Medium size plasma device

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特徴

  • プラズマ効率向上のため、特殊電極構造に変更可能
  • 高精度マッチングユニット、RF電源は高信頼性

仕様

  • プラズマモード：DP/RIE
  • 高周波電源：13.56mHz
  • 出力（mAX）：1,000W
  • 電極有効ステージ寸法：幅280×奥行280/mm、平行平板
  • 反応ガス：マイクロコントロール2系統（パージガス系別途付）
  • 真空ポンプ：670 & 1,000L/min
  • 安全装置：ドアSW、測板インターロック、非常停止SW
  • コード番号：328212
アズワン品番
61-9659-56
JANコード
4573181501377
型番
V1000
入り数
1個
標準価格
13,100,000円（税抜）
WEB価格
-円
アズワン在庫 [?]
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よくあるご質問

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商品イメージ アズワン品番 商品名
61-9659-57
中型プラズマ装置
61-9659-56
中型プラズマ装置
61-9659-58
大型プラズマ装置

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